半導體電阻率測試儀是實驗室檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電阻率。半導體電阻率測試儀測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。
半導體電阻率測試儀的技術指標:
電源：220V交流
可測晶片直徑（zui大）Ф100mm,方形230×220mm
恒流源：電流量程為0.01～1mA連續可調，誤差≦±0.5%。
數字電壓表：量程：0.1～200mV,zui大分辨率：100μV
電阻率顯示：三位半數字顯示：小數點、極性、過載、自動顯示0.01-199.99歐姆。厘米
輸入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω
測量精度：±0.1。
zui大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數±2個字。
重摻檢測誤差（JJG508-87進行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
測量環境：溫度23±2℃，相對濕度≤65%
